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掃描電鏡樣品臺對于樣品要滿足哪些要求?

更新時間:2021-09-07  |  訪問量:1548
   掃描電鏡樣品臺可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像,掃描電鏡有較高的放大倍數且連續可調,是當今十分有用的科學研究儀器。對于它試驗的樣品來說有哪些要求呢?
  1.形態必須耐高真空
  如有些含水量很大的細胞,在真空中很快被抽干水分,細胞的形態也發生了改變,無法對各類型細胞進行區分。
  2.樣品表面不能含有有機油脂類污染物
  油污在電子束作用下易分解成碳氫化物,對真空環境造成極大污染。樣品表面細節被碳氫化合物遮蓋;碳氫化合物降低了成像信號產量;碳氫化合物吸附在電子束光路引起極大象散;碳氫化合物被吸附在探測器晶體表面,降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴重。
  3.樣品必須干燥
  水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發,從而極大降低燈絲壽命;水蒸氣會散射電子束,增加電子束能量分散,從而增大色差,降低分辨能力。
  4.樣品表面可導電
  大多數情況下,初級電子束電荷數量都大于背散射電子和二次電子數量之和,因此多余的電子必須導入地下,即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不導電,或者樣品接地線斷裂,那么樣品表面靜電荷存在,使得表面負電勢不斷增加,出現充電效應,使圖像畸變,入射電子束減速,此時樣品如同一個電子平面鏡。對不導電的樣品,建議采用離子濺射鍍膜機噴鍍金屬,這樣可顯著提高掃描電子顯微鏡所觀察圖像的質量。
  5.特殊樣品制備考慮因素
  掃描電鏡一般不建議觀測磁性材料,如果一定要觀測此類物質,則建議對材料首**行退磁。如果要檢測觀察弱反差機理,就必須消除強反差機理,否則很難檢測到弱的反差。當希望背散射電子衍射反差(EBSD),I和II型磁反差或其他弱反差機理時,磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學拋光,電解拋光等,以使樣品產生一個幾乎消除形貌的鏡面。
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